GB/T 17169-1997 硅拋光片和外延片表面質量光反射測試方法
作者：百檢網 時間：2022-10-19
標準簡介
本標準規定了半導體硅拋光片和外延片表面常見缺陷的光反射無損檢驗方法。本標準適用于半導體硅拋光片和外延片表面質量的無損檢驗。本標準的檢驗結果與GB/T 6624、GB/T 14142的檢驗結果一致。英文名稱：Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
標準狀態：作廢
中標分類：冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H24金相檢驗方法
ICS分類：電氣工程>>29.045半導體材料
發布部門：國家技術監督局
發布日期：1997-01-02
實施日期：1998-08-01
作廢日期：2005-10-14
出版日期：2004-04-12
頁數：平裝16開， 頁數：10， 字數：15千字
前言
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