標準簡介

本標準規(guī)定了用安裝在掃描電鏡(SEM)或電子探針(EPMA)上的能譜儀對試樣上特定點或特定 區(qū)域進行定量分析的方法。定量分析是指用質(zhì)量分數(shù)(百分數(shù))表示元素的含量。正確鑒別試樣中所有 元素是定量分析中必不可少的組成部分,因此,本標準也包含這方面的內(nèi)容。本標準提供了多種能譜法 定量分析方法,本標準適用于利用參考物質(zhì)或“無標樣”程序?qū)|(zhì)量分數(shù)高于1%的元素進行定量分析。 本標準對原子序數(shù)大于10的元素的分析置信度更高。 本標準也規(guī)定了對原子序數(shù)小于11的輕元素的分析方法。 注:當沒有重疊峰,并且相應(yīng)的特征X射線被強烈地激發(fā)時,能譜儀也可以測量質(zhì)量分數(shù)在0.1%水平的元素。本 標準主要應(yīng)用于表面平整試樣的定量分析,基本方法也適用于表面不平整試樣的分析,但會引入附加的不確定 度分量。 目前沒有公認的輕元素的準確能譜儀(EDS)定量分析方法,以下是幾種常用于輕元素分析的EDS 方法: a) 測量峰面積并對比峰強度。如附錄D中所述的原因,這種方法對輕元素分析結(jié)果的不確定度 比重元素大。 b) 當已知試樣中的輕元素以化學計量的方式與重元素(Z>10)結(jié)合時,該輕元素的濃度可以通 過與其他元素的相關(guān)濃度比進行測定。這種方法通常用于硅酸鹽礦物試樣中氧的測定。 c) 通過差值法計算濃度,即用****減去能夠分析元素的總百分數(shù)即為輕元素的百分數(shù)。這種 方法只有在很好的束流穩(wěn)定性和單獨測量至少一個參考樣品的條件下才能夠應(yīng)用,并且還需 要精確測定樣品中的其他元素。 附錄D總結(jié)了重元素存在時輕元素定量分析中的問題。如果儀器上安裝了能譜儀和波譜儀 (WDS),可以用WDS來克服EDS分析中的低能量譜峰重疊問題。
英文名稱：Microbeam analysis - Quantitative analysis using energy dispersive spectrometry
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
替代情況：替代GB/T 17359-1998
中標分類：儀器、儀表>>物質(zhì)成分分析儀器與環(huán)境監(jiān)測儀器>>N53電化學、熱化學、光學式分析儀器
發(fā)布部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
發(fā)布日期：2012-07-31
實施日期：2013-02-01
出版日期：2013-02-01
頁數(shù)：24

前言

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本標準代替GB/T17359—1998《電子探針和掃描電鏡X射線能譜定量分析通則》。本標準與GB/T17359—1998相比,主要內(nèi)容變化:———增加了輕元素定量分析的技術(shù)要求;———增加了術(shù)語與定義;———增加了無標樣定量分析的技術(shù)要求;———增加了測量不確定度的要求;———增加了資料性附錄A、附錄E;———刪除了分析方法原理;———刪除了附表1和附表2的標準樣品清單。本標準使用翻譯法等同采用ISO22309:2006《微束分析 能譜法定量分析》。本標準由全國微束分析標準化技術(shù)委員會(SAC/TC38)提出并歸口。本標準主要起草單位:核工業(yè)北京地質(zhì)研究院、中國地質(zhì)科學院礦產(chǎn)資源研究所。本標準主要起草人:范光、葛祥坤、周劍雄、陳振宇、于阿朋。