GB/T 13388-1992 硅片參考面結晶學取向X射線測量方法
作者：百檢網 時間：2022-10-19
標準簡介
本標準規定了用Ｘ射線技術測量硅片參考面結晶學取向的方法。本標準適用于硅片參考面結晶學取向與參考面規定取向之間角度偏差的測量。硅片直徑為50～125mm，參考面長度為10～50mm。本標準不適用于硅片規定取向在與參考面和硅片表面相垂直的平面內的投影與硅片表面法線之間夾角不小于3°的硅片的測量。英文名稱：Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
標準狀態：作廢
替代情況：被GB/T 13388-2009代替
中標分類：冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H21金屬物理性能試驗方法
ICS分類：29.040.30
發布部門：國家技術監督局
發布日期：1992-02-19
實施日期：1992-10-01
作廢日期：2010-06-01
頁數：平裝16開， 頁數：6， 字數：7000
前言
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