GB/T 14140.1-1993 硅片直徑測量方法 光學投影法
作者：百檢網 時間：2022-10-20
標準簡介
本標準規定了用光學投影儀測量硅片直徑的方法。本標準適用于測量圓形硅片的直徑。測量范圍為聲φ40～φ100mm本標準不適用于測量硅片的不圓度。本標準用作仲裁測量方法。英文名稱：Silicon slices and wafers-Measuring of diameter-Optical projecting method
標準狀態：作廢
替代情況：被GB/T 14140-2009代替
中標分類：冶金>>半金屬與半導體材料>>H81半金屬
ICS分類：冶金>>金屬材料試驗>>77.040.01金屬材料試驗綜合
發布部門：國家技術監督局
發布日期：1993-02-06
實施日期：1993-10-01
作廢日期：2010-06-01
頁數：4頁
前言
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