欧洲处破女www人鲁,亚洲无玛,国产bbaaaaa片,三年片在线观看免费播放大全电影国语版

百檢網首頁 我的訂單 400-101-7153

GB/T 14141-2009 硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的測定 直排四探針法

作者：百檢網 時間：2022-10-20

標準簡介

本標準規定了用直排四探針測量硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的方法。 本標準適用于測量直徑大于15.9mm 的由外延、擴散、離子注入到硅片表面上或表面下形成的薄層的平均薄層電阻。硅片基體導電類型與被測薄層相反。適用于測量厚度不小于0.2μm 的薄層,方塊電阻的測量范圍為10Ω~5000Ω。該方法也可適用于更高或更低阻值方塊電阻的測量,但其測量精確度尚未評估。
英文名稱：Test method for sheet resistance of silicon epitaxial,diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
標準狀態：現行
替代情況：替代GB/T 14141-1993
中標分類：冶金>>半金屬與半導體材料>>H80半金屬與半導體材料綜合
ICS分類：電氣工程>>29.045半導體材料
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2009-10-30
實施日期：2010-06-01
出版日期：2010-06-01
頁數：12頁

前言

本標準代替GB/T14141-1993《硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的測定 直排四探針法》。本標準與GB/T14141-1993相比,主要有如下改動:---修改了被測薄層電阻的*小直徑(由10.0 mm 改為15.9 mm)、薄層電阻阻值的測量范圍及精度;---增加了規范性引用文件;---增加了引入與試樣幾何形狀有關的修正因子計算薄層電阻;---增加了干擾因素;---刪除了三氯乙烯試劑;---修改了薄層電阻范圍,增加了直流輸入阻抗不小于109 Ω;---刪除了三氯乙烯漂洗;---修改仲裁測量探針間距,由1mm 改為1.59mm;---增加了修正因子和溫度修正系數表格。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會歸口。本標準起草單位:寧波立立電子股份有限公司、南京國盛電子有限公司、信息產業部專用材料質量監督檢驗中心。本標準主要起草人:李慎重、許峰、劉培東、諶攀、馬林寶、何秀坤。本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:---GB/T14141-1993。

相關標準

百檢網專注于為第三方檢測機構以及中小微企業搭建互聯網+檢測電商服務平臺，是一個創新模式的檢驗檢測服務網站。百檢網致力于為企業提供便捷、高效的檢測服務，簡化檢測流程，提升檢測服務效率，利用互聯網+檢測電商，為客戶提供多樣化選擇,從根本上降低檢測成本提升時間效率，打破行業壁壘，打造出行業創新的檢測平臺。

百檢能給您帶來哪些改變？

1、檢測行業全覆蓋，滿足不同的檢測；

2、實驗室全覆蓋，就近分配本地化檢測；

3、工程師一對一服務，讓檢測更精準；

4、免費初檢，初檢不收取檢測費用；

5、自助下單 快遞免費上門取樣；

6、周期短，費用低，服務周到；

7、擁有CMA、CNAS、CAL等權威資質；

8、檢測報告權威有效、中國通用；

客戶案例展示

  • 上海朗波王服飾有限公司
  • 浙江圣達生物藥業股份有限公司
  • 天津市長慶電子科技有限公司
  • 桑德斯微電子器件（南京）有限公司
  • 上海嘉疊貿易有限公司
  • 上海紐特絲紡織品有限公司
  • 無錫露米婭紡織有限公司
  • 東方電氣風電（涼山）有限公司
  • 寧波圖米文具用品有限公司
  • 江蘇力之創特種裝備制造有限公司

相關資訊

最新資訊

百檢網
主站蜘蛛池模板： 霍城县| 讷河市| 驻马店市| 竹北市| 泗阳县| 霍林郭勒市| 昭通市| 静安区| 长泰县| 尼玛县| 宁德市| 福清市| 安徽省| 扶沟县| 永修县| 共和县| 容城县| 哈巴河县| 佛坪县| 苍溪县| 石屏县| 璧山县| 雷州市| 南宁市| 隆回县| 杨浦区| 稻城县| 永丰县| 留坝县| 阳朔县| 宝坻区| 贵州省| 平顺县| 上栗县| 昭觉县| 娱乐| 武定县| 肇州县| 屯门区| 正阳县| 盐亭县|