GB/T 17874-1999 電子工業用氣體 三氯化硼
作者：百檢網 時間：2022-10-20
標準簡介
本標準規定了電子工業用三氯化硼氣體的要求、檢驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。本標準適用于以粗制三氯化硼為原料，采用吸附、蒸餾的方法提純制得的三氯化硼，主要用于電子工業硅半導體器件和集成電路生產所用的擴散、離子注入、干法蝕刻等工藝。英文名稱：Gases for electronic industry--Boron trichloride
標準狀態：作廢
替代情況：被GB/T 17874-2010代替
中標分類：化工>>其他化工產品>>G86工業氣體與化學氣體
ICS分類：化工技術>>化工產品>>71.100.20工業氣體
發布部門：國家質量技術監督局
發布日期：1999-09-01
實施日期：2000-06-01
作廢日期：2011-05-01
頁數：平裝16開， 頁數：8， 字數：11千字
前言
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