GB/T 17874-2010 電子工業用氣體 三氯化硼
作者：百檢網 時間：2022-10-20
標準簡介
本標準規定了三氯化硼的技術要求、試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。 本標準適用于以粗制三氯化硼為原料，采用吸附、精餾等方法提純制得的三氯化硼，主要用于半導體器件生產所用的擴散、離子注入、干法蝕刻等工藝。英文名稱：Gases for electronic industry-Boron trichloride
標準狀態：作廢
替代情況：被GB/T 17874-2021代替;替代GB/T 17874-1999
中標分類：化工>>其他化工產品>>G86工業氣體與化學氣體
ICS分類：化工技術>>化工產品>>71.100.20工業氣體
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2011-04-01
實施日期：2011-05-01
作廢日期：2022-05-01
出版日期：2011-05-01
頁數：12頁
前言
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