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GB/T 14600-2009 電子工業(yè)用氣體 氧化亞氮

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2022-10-20

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氧化亞氮的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)中化學(xué)氣相淀積工藝。
英文名稱：Gas for electronic industry—Nitrous Oxide
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
替代情況：替代GB/T 14600-1993
中標(biāo)分類：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
發(fā)布部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.
發(fā)布日期：2009-10-30
實(shí)施日期：2010-05-01
出版日期：2010-05-01
頁數(shù)：12頁

前言

本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T14600-1993《電子工業(yè)用氣體 氧化亞氮》。本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T14600-1993相比主要變化如下:---修改電子工業(yè)用氧化亞氮的適用范圍(GB/T14600-1993的第1章,本版的第1章);---修改規(guī)范性引用文件(GB/T14600-1993的第2章,本版的第2章);---修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容(GB/T14600-1993的第3章,本版的第3章);---增加電子工業(yè)用氧化亞氮采樣安全要求(見4.1.2);---增加尾氣處理的要求(見4.3);---修改一氧化碳、二氧化碳、烴C1~C5、氮、氧含量檢驗(yàn)方法的檢測限和標(biāo)準(zhǔn)樣品的規(guī)定(GB/T14600-1993的4.4、4.5、4.6、4.7、4.8,本版的4.5、4.6、4.7、4.8);---修改水分含量的檢驗(yàn)方法(GB/T14600-1993的4.7,本版的4.11);---修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全(GB/T14600-1993的第6章、第7章,本版的第5章)。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:中國計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院、大連光明化工研究院。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:周澤義、孫福楠、周鵬云。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T14600-1993。

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