標準簡介

本標準規定了氨的技術要求,試驗方法,檢驗規則及產品的包裝、標志、運輸、貯存及安全要求。 本標準適用于半導體工業,氮化硅、氮化鎵的化學氣相淀積,也可用于硅或氧化硅的氮化。
英文名稱：Gas for electronic industry—Ammonia
標準狀態：現行
替代情況：替代GB/T 14601-1993
中標分類：化工>>其他化工產品>>G86工業氣體與化學氣體
ICS分類：化工技術>>化工產品>>71.100.20工業氣體
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2009-10-30
實施日期：2010-05-01
出版日期：2010-05-01
頁數：12頁

前言

本標準代替GB/T14601-1993《電子工業用氣體 氨》。本標準與GB/T14601-1993相比主要變化如下:---修改標準的名稱;---修改適用范圍(GB/T14601-1993的第1章,本版的第1章);---修改規范性引用文件(GB/T14601-1993的第2章,本版的第2章);---修改技術指標內容(GB/T14601-1993的第3章,本版的第3章);---增加對氨尾氣處理的要求(見4.3);---刪去按GB5831規定的方法測定氧含量(GB/T14601-1993的4.2.1);---修改氧、氮、一氧化碳含量的測定(GB/T14601-1993的4.2、4.3、4.4,本版的4.4);---增加氫、氬含量的測定(見4.4);---增加二氧化碳含量的測定(見4.4);---修改烴含量的測定(GB/T14601-1993的4.5,本版的4.4);---修改水含量的測定方法(GB/T14601-1993的4.6,本版的4.5);---增加金屬離子的測定方法(見4.6);---修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T14601-1993的第6章、第7章,本版的第5章);---增加規范性附錄A,并把采用氦放電離子化氣相色譜法測定氨中的氫、氧(氬)、氮、一氧化碳、二氧化碳和烴(C1~C3)含量組分的方法寫入該附錄(見附錄A)。本標準的附錄A 為規范性附錄。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分會歸口。本標準起草單位:大連光明化工研究院、中國西南油氣田成都天然氣化工總廠、武漢市鼎立化工有限責任公司、西南化工研究設計院。本標準主要起草人:孫福楠、劉澤軍、付永成、謝國清、周鵬云。本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:---GB/T14601-1993。