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GB/T 14603-1993 電子工業(yè)用氣體三氟化硼

作者：百檢網(wǎng) 時間：2022-10-20

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三氟化硼產(chǎn)品的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、包裝、標(biāo)志、運輸、貯存和安全要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以氟硼酸鈉為原料，采用熱分解法制得的三氟化硼。主要用于半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)的離子注入和摻雜。
英文名稱：Gases for electronic industry. Boron trifluoride
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢
替代情況：被GB/T 14603-2009代替
中標(biāo)分類：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
發(fā)布部門：國家技術(shù)監(jiān)督局
發(fā)布日期：1993-08-26
實施日期：1994-07-01
作廢日期：2010-05-01
頁數(shù)：6頁

前言

工業(yè)氣體與化學(xué)氣體相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

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