GB/T 14603-2009 電子工業(yè)用氣體 三氟化硼
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2022-10-20
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用三氟化硼的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全要求。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于以氟氣和硼單質(zhì)為原料,采用直接化合的方法制得并經(jīng)過(guò)純化制取的三氟化硼;和以氟硼酸鈉為原料熱分解法制得并經(jīng)過(guò)純化制取的三氟化硼。主要用于半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)的離子注入和摻雜。英文名稱：Gases for electronic industry—Boron trifluoride
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
替代情況：替代GB/T 14603-1993
中標(biāo)分類：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
發(fā)布部門：國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.
發(fā)布日期：2009-10-30
實(shí)施日期：2010-05-01
出版日期：2010-05-01
頁(yè)數(shù)：16頁(yè)
前言
本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T14603-1993《電子工業(yè)用氣體 三氟化硼》。本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T14603-1993相比主要區(qū)別如下:---修改三氟化硼的適用范圍(GB/T14603-1993的第1章,本版的第1章);---修改規(guī)范性引用文件(GB/T14603-1993的第2章,本版的第2章);---修改三氟化硼的技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容(GB/T14603-1993的第3章,本版的第3章);---增加三氟化硼采樣安全要求(本版的4.1.2);---修改氮、氧(氬)含量的分析方法(GB/T14603-1993的4.2,本版的4.3);---修改二氧化硫含量的分析方法(GB/T14603-1993的4.2,本版的4.6);---增加二氧化碳、四氟化碳含量的分析方法(見(jiàn)本版的4.3);---修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全(GB/T14603-1993的第6章、第7章,本版的第5章);---增加資料性附錄A,并把測(cè)定三氟化硼中的氮、氧(氬)、二氧化碳和四氟化碳含量的色譜切割流程圖寫入該附錄(見(jiàn)附錄A)。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A 為資料性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:核工業(yè)理化工程研究院、大連光明化工研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:鄧建平、倪志強(qiáng)、孫福楠、周鵬云。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T14603-1993。相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
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