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GB/T 18994-2014 電子工業用氣體高純氯

作者：百檢網時間：2022-10-21

標準簡介

本標準規定了高純氯的技術要求、試驗方法、檢驗規則及包裝、標志、運輸和儲存。本標準適用于以工業液氯為原料,采用物理吸附等過程生產的高純氯產品。該產品主要用于大規模集成電路、光導纖維、高溫超導、平板顯示器、太陽能等技術領域。分子式:Cl2。相對分子質量:70.90(按2009年國際相對原子質量計算)。
英文名稱：Gases for electronic industry—High purity chlorine
標準狀態：現行
替代情況：替代GB/T 18994-2003
中標分類：化工>>其他化工產品>>G86工業氣體與化學氣體
ICS分類：化工技術>>化工產品>>71.100.20工業氣體
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2014-12-22
實施日期：2015-07-01
出版日期：2015-07-01
頁數：12頁

前言

本標準按照 GB/T1.1—2009給出的規則起草。本標準代替 GB/T18994—2003《電子工業用氣體高純氯》。與 GB/T18994—2003相比,除編輯性修改外主要技術內容變化如下:———修改了范圍(見第1章,2003年版的第1章);———修改了規范性引用文件(見第2章,2003年版的第2章);———修改了技術要求(見第3章,2003年版的第3章);———修改了抽樣、判定(見4.1,2003年版的第5章);———刪去了取樣裝置的規定(2003年版的4.1);———修改了氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、烴含量的測定方法(見4.3,2003年版的4.3、4.4);———增加了氫含量的測定方法(見4.3);———修改了水分含量的測定方法(見4.4,2003年版的4.5);———增加了金屬元素含量的測定方法(見4.5);———修改了標志、包裝、貯運及安全(見第5章,2003年版的第6、7章)。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出并歸口。本標準起草單位:西南化工研究設計院有限公司、光明化工研究設計院有限公司、佛山市華特氣體有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、太和氣體(荊州)有限公司、上海儀盟科技有限公司。本標準主要起草人:周鵬云、常俠、廖恒易、方華、劉新明、汪正宏、楊任。本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:———GB/T18994—2003。

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