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GB/T 14851-2009 電子工業用氣體磷化氫

作者：百檢網時間：2022-10-21

標準簡介

本標準規定了電子工業用磷化氫的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。本標準適用于亞磷酸熱分解、磷化物水解、單質磷與水或堿反應等方法獲得并經精制得到的磷化氫產品。它主要用于半導體器件和集成電路生產的外延、離子注入和摻雜。
英文名稱：Gas for electronic industry—Phosphine
標準狀態：現行
替代情況：替代GB/T 14851-1993
中標分類：化工>>其他化工產品>>G86工業氣體與化學氣體
ICS分類：化工技術>>化工產品>>71.100.20工業氣體
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2009-10-30
實施日期：2010-05-01
出版日期：2010-05-01
頁數：12頁

前言

本標準代替GB/T14851-1993《電子工業用氣體磷化氫》。本標準與GB/T14851-1993相比主要變化如下:---修改規范性引用文件(GB/T14851-1993的第2章,本版的第2章);---修改技術指標內容(GB/T14851-1993的第3章,本版的第3章);---增加電子工業用磷化氫采樣安全要求(本版的4.1.2);---增加尾氣處理的要求(本版的4.3);---修改砷化氫、氮、氧(氬)組分的分析方法(GB/T14851-1993的4.2、4.5、4.6,本版的4.3);---刪去氫的分析方法(GB/T14851-1993的4.4);---修改二氧化碳、總烴含量的分析方法(GB/T14851-1993的4.3,本版的4.5、4.6);---增加一氧化碳的分析方法(見4.5);---增加標準樣品的規定(見4.7);---修改水分的分析方法(GB/T14851-1993的4.7,本版的4.8);---修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T14851-1993的第6章、第7章,本版的第5章);---刪去GB/T14851-1993的附錄A;---增加規范性附錄A,并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業用磷化氫中的砷化氫、氮、氧(氬)組分的方法寫入該附錄(見附錄A)。本標準的附錄A 為規范性附錄。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口。本標準起草單位:中國計量科學研究院、西南化工研究設計院、大連光明化工研究院。本標準主要起草人:周澤義、孫福楠、周鵬云。本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:---GB/T14851-1993。

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