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GB/T 19199-2015 半絕緣砷化鎵單晶中碳濃度的紅外吸收測試方法

作者：百檢網時間：2022-10-21

標準簡介

本標準規定了半絕緣砷化鎵單晶中碳濃度的紅外吸收測試方法。本標準適用于電阻率大于106Ω·cm 的非摻雜和碳摻雜半絕緣砷化鎵單晶中碳濃度的測定。測量范圍:室溫下從 1.0×1015 atoms/cm3 到代位碳原子的 * 大溶解度,77 K 時檢測下限為4.0×1014atoms/cm3。
英文名稱：Test methods for carbon acceptor concentration in semi-insulating gallium arsenide single crystals by infrared absorption spectroscopy
標準狀態：現行
替代情況：替代GB/T 19199-2003
中標分類：冶金>>金屬化學分析方法>>H17半金屬及半導體材料分析方法
ICS分類：冶金>>77.040金屬材料試驗
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2015-12-10
實施日期：2016-07-01
出版日期：2016-07-01
頁數：8頁

前言

本標準按照 GB/T1.1—2009給出的規則起草。本標準代替 GB/T19199—2003《半絕緣砷化鎵單晶中碳濃度的紅外吸收測試方法》。本標準與 GB/T19199—2003相比,主要有以下變化:———增加了“規范性引用文件”“術語和定義”“干擾因素”和“測試環境”4章;———擴展了半絕緣砷化鎵單晶電阻率范圍,將電阻率大于107Ω·cm 修改為大于106Ω·cm;———將范圍由“非摻雜半絕緣砷化鎵單晶”修改為“非摻雜和碳摻雜半絕緣砷化鎵單晶”;———去除了0.4mm~2mm 厚度測試樣品的解理制樣方法;———室溫差示法測量時,將“儀器分辨率為0.5cm-1或1cm-1”,修改為“儀器分辨率1cm-1”。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)與全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料會(SAC/TC203/SC2)共同提出并歸口。本標準起草單位:信息產業專用材料質量監督檢驗中心、天津市環歐半導體材料技術有限公司、中國電子材料行業協會。本標準起草人:何秀坤、李靜、張雪囡。本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:———GB/T19199—2003。

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