GB/T 1551-2009 硅單晶電阻率測(cè)定方法
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2022-10-21
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本方法規(guī)定了用直排四探針?lè)y(cè)量硅單晶電阻率的方法。 本方法適用于測(cè)量試樣厚度和從試樣邊緣與任一探針端點(diǎn)的*近距離二者均大于探針間距的4倍的硅單晶體電阻率以及測(cè)量直徑大于探針間距10倍、厚度小于探針間距4倍的硅單晶圓片的電阻率。英文名稱(chēng)：Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢
替代情況：被GB/T 1551-2021代替;替代GB/T 1551-1995;GB/T 1552-1995
中標(biāo)分類(lèi)：冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H80半金屬與半導(dǎo)體材料綜合
ICS分類(lèi)：電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料
發(fā)布部門(mén)：國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.
發(fā)布日期：2009-10-30
實(shí)施日期：2010-06-01
作廢日期：2021-12-01
出版日期：2010-06-01
頁(yè)數(shù)：24頁(yè)
前言
本標(biāo)準(zhǔn)修改采用SEMIMF84?1105《硅片電阻率測(cè)定四探針?lè)ā泛蚐EMIMF397?1106《硅棒電阻率測(cè)定兩探針?lè)ā贰１緲?biāo)準(zhǔn)與SEMIMF84?1105和SEMIMF397?1106相比,主要變化如下:---中厚度修正系數(shù)F(犠/犛)表格范圍增加;---按中文格式分直排四探針?lè)ā⒅绷鲀商结樂(lè)ㄟM(jìn)行編排。本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針?lè)ā泛虶B/T1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直排四探針?lè)ā贰１緲?biāo)準(zhǔn)與GB/T1551-1995和GB/T1552-1995相比,主要有如下變化:---刪除了鍺單晶測(cè)定的相關(guān)內(nèi)容;---用文字描述代替了原標(biāo)準(zhǔn)GB/T1551-1995和GB/T1552-1995中的若干記錄測(cè)試數(shù)據(jù)的表格;---修改了直排四探針?lè)ㄖ杏?jì)算公式;---補(bǔ)充了干擾因素。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:信息產(chǎn)業(yè)部專(zhuān)用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:李靜、何秀坤、張繼榮、段曙光。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:---GB1552-1979、GB1551-1979、GB5251-1985、GB5253-1985、GB6615-1986;---GB/T1551-1995、GB/T1552-1995。相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
百檢能給您帶來(lái)哪些改變？
1、檢測(cè)行業(yè)全覆蓋，滿足不同的檢測(cè)；
2、實(shí)驗(yàn)室全覆蓋，就近分配本地化檢測(cè)；
3、工程師一對(duì)一服務(wù)，讓檢測(cè)更精準(zhǔn)；
4、免費(fèi)初檢，初檢不收取檢測(cè)費(fèi)用；
5、自助下單 快遞免費(fèi)上門(mén)取樣；
6、周期短，費(fèi)用低，服務(wù)周到；
7、擁有CMA、CNAS、CAL等權(quán)威資質(zhì)；
8、檢測(cè)報(bào)告權(quán)威有效、中國(guó)通用；
客戶案例展示
相關(guān)商品
相關(guān)資訊
最新資訊
版權(quán)與免責(zé)聲明
①本網(wǎng)注名來(lái)源于“互聯(lián)網(wǎng)”的所有作品，版權(quán)歸原作者或者來(lái)源機(jī)構(gòu)所有,如果有涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一個(gè)月內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，聯(lián)系郵箱service@baijiantest.com，否則視為默認(rèn)百檢網(wǎng)有權(quán)進(jìn)行轉(zhuǎn)載。
②本網(wǎng)注名來(lái)源于“百檢網(wǎng)”的所有作品，版權(quán)歸百檢網(wǎng)所有，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用。想要轉(zhuǎn)載本網(wǎng)作品，請(qǐng)聯(lián)系:service@baijiantest.com。已獲本網(wǎng)授權(quán)的作品，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明"來(lái)源：百檢網(wǎng)"。違者本網(wǎng)將追究相關(guān)法律責(zé)任。
③本網(wǎng)所載作品僅代表作者獨(dú)立觀點(diǎn)，不代表百檢立場(chǎng)，用戶需作出獨(dú)立判斷，如有異議或投訴，請(qǐng)聯(lián)系service@baijiantest.com
關(guān)于我們 萬(wàn)檢（上海）信息科技有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)：百檢網(wǎng)）是國(guó)內(nèi)知名B2B檢測(cè)電商服務(wù)平臺(tái)，專(zhuān)注于為第三方 檢測(cè)機(jī)構(gòu)以及中小微企業(yè)及個(gè)人用戶搭建互聯(lián)網(wǎng)+檢測(cè)電商服務(wù)平臺(tái)。平臺(tái)匯集了國(guó)內(nèi)外權(quán)威檢測(cè)機(jī)構(gòu)（CNAS/CMA）,其中不乏國(guó)家級(jí)、省級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室以及國(guó)際知名檢測(cè)機(jī)構(gòu)，為廣大用戶提供一站式檢測(cè)服務(wù)。
客服熱線 400-101-7153 專(zhuān)屬服務(wù)：156 0190 2607 企業(yè)郵箱：Service@Baijiantest.Com 聯(lián)系地址：上海市徐匯區(qū)宜山路700號(hào)
微信公眾號(hào)
官方微博
百檢集團(tuán)
滬ICP備19010749號(hào)經(jīng)營(yíng)許可證編號(hào):滬B2-20190666Copyright@2019www.szlhsb.comAll Rights Reserved
- 微信客服
- 電話咨詢
- QQ客服
返回頂部
400-101-7153
15201733840