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GB/T 1551-2021 硅單晶電阻率的測定 直排四探針法和直流兩探針法

作者：百檢網(wǎng) 時間：2022-10-21

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本文件規(guī)定了用直排四探針法和直流兩探針法測試硅單晶電阻率的方法。 本文件適用于硅單晶電阻率的測試，其中直排四探針法可測試的p型硅單晶電阻率范圍為7 10-4 ·cm～8 103 ·cm，n型硅單晶電阻率范圍為7 10-4 ·cm～1.5 104 ·cm；直流兩探針法適用于測試截面積均勻的圓形、方形或矩形硅單晶的電阻率，測試范圍為1 10-3 ·cm～1 104 ·cm，樣品長度與截面*大尺寸之比不小于3:1。硅單晶其他范圍電阻率的測試可參照本文件進行。
英文名稱：Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon—In-line four-point probe and direct current two-point probe method
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
替代情況：替代GB/T 1551-2009
中標(biāo)分類：冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H21金屬物理性能試驗方法
ICS分類：冶金>>77.040金屬材料試驗
發(fā)布部門：國家市場監(jiān)督管理總局.
發(fā)布日期：2021-05-21
實施日期：2021-12-01
頁數(shù)：28頁

前言

金屬物理性能試驗方法相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

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