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GB/T 11446.1-2013 電子級水

作者：百檢網 時間：2022-10-21

標準簡介

GB/T11446的本部分規定了電子級水的級別、技術指標要求、試驗方法和檢驗規則。本部分適用于電子和半導體工業用高純清洗用水。
英文名稱：Electronic grade water
標準狀態：現行
替代情況：替代GB/T 11446.1-1997
中標分類：電子元器件與信息技術>>電子設備專用材料、零件、結構件>>L90電子技術專用材料
ICS分類：31-030
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2013-12-31
實施日期：2014-08-15
出版日期：2014-08-15
頁數：12頁

前言

GB/T11446預計結構如下:———GB/T11446.1 電子級水;———GB/T11446.2 (待定);———GB/T11446.3 電子級水測試方法通則;———GB/T11446.4 電子級水電阻率的測試方法;———GB/T11446.5 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法;———GB/T11446.6 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法;———GB/T11446.7 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法;———GB/T11446.8 電子級水中總有機碳的測試方法;———GB/T11446.9 電子級水中微粒的儀器測試方法;———GB/T11446.10 電子級水中細菌總數的濾膜培養測試方法。本部分為GB/T11446的第1部分。本部分按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。本部分代替GB/T11446.1—1997《電子級水》。本部分與GB/T11446.1—1997相比,主要有下列變化:———“3術語和定義”中增加了“離子交換樹脂”、“無菌”和“pH”的定義(見第3章);———修改了“5要求”中“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅲ”和“EW-Ⅳ”級水的電阻率指標(見第5章);———修訂了“5要求”中“EW-Ⅰ”、“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅲ”和“EW-Ⅳ”級水的微粒數指標(見第5章);———“5要求”中增加了“鐵”和“鉛”金屬離子及“氟”、“亞硝酸根”和“溴”陰離子的要求和指標(見第5章);———“6 試驗方法”中增加了“鐵”、“鉛”、“氟離子”、“亞硝酸根離子”和“溴離子”的檢測方法(見第6章)。本部分由中華人民共和國工業和信息化部提出。本部分由中國電子技術標準化研究院歸口。本部分起草單位:信息產業部專用材料質量監督檢驗中心、中國科學院半導體研究所、中國電子技術標準化研究院、中國電子科技集團公司第四十六研究所。本部分主要起草人:褚連青、王奕、何秀坤、段曙光、提劉旺、劉筠。本部分所代替標準的歷次版本發布情況為:———GB/T11446.1—1989、GB/T11446.1—1997。

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