標準簡介

GB/T11446的本部分規(guī)定了電子級水中微粒的儀器測定方法。本部分適用于電子級水中微粒的連續(xù)式或單次檢測計數(shù),測定的微粒粒徑不小于0.05μm,微粒的濃度范圍為0~10000個/mL。
英文名稱：Test method for particles in electronic grade water by instrument
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
替代情況：替代GB/T 11446.9-1997
中標分類：電子元器件與信息技術(shù)>>電子設(shè)備專用材料、零件、結(jié)構(gòu)件>>L90電子技術(shù)專用材料
ICS分類：31-030
發(fā)布部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
發(fā)布日期：2013-12-31
實施日期：2014-08-15
出版日期：2014-08-15
頁數(shù)：8頁

前言

GB/T11446預(yù)計結(jié)構(gòu)如下:———GB/T11446.1 電子級水;———GB/T11446.2 (待定);———GB/T11446.3 電子級水測試方法通則;———GB/T11446.4 電子級水電阻率的測試方法;———GB/T11446.5 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法;———GB/T11446.6 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法;———GB/T11446.7 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法;———GB/T11446.8 電子級水中總有機碳的測試方法;———GB/T11446.9 電子級水中微粒的儀器測試方法;———GB/T11446.10 電子級水中細菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測試方法。本部分為GB/T11446的第9部分。本部分按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本部分代替GB/T11446.9—1997《電子級水中微粒的儀器測試方法》。本部分與GB/T11446.9—1997相比,主要有下列變化:———重新對“3.1微粒”進行了定義(見第3章);———增加了“5干擾因素”(見第5章);———刪除了“11注意事項”(見1997年版的第11章);———修訂了Pi 的定義。本部分由中華人民共和國工業(yè)和信息化部提出。本部分由中國電子技術(shù)標準化研究院歸口。本部分起草單位:信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、中國電子技術(shù)標準化研究院、中國電子科技集團公司第四十六研究所。本部分主要起草人:王奕、褚連青、何秀坤、段曙光、提劉旺、劉筠。本部分所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為:———GB/T11446.9—1989、GB/T11446.9—1997。