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GB/T 31352-2014 藍寶石襯底片翹曲度測試方法

作者：百檢網時間：2022-10-22

標準簡介

本標準規定了藍寶石切割片、研磨片、拋光片（以下簡稱藍寶石襯底片）翹曲度的測試方法提要、干擾因素、儀器和設備、試樣、測試環境、測試程序、測試結果的計算、精密度以及試驗報告。本標準適用于直徑50.8mm～304.8mm，厚度為不小于200μm的藍寶石襯底片翹曲度的測試。
英文名稱：Test methods for warp of sapphire substrates
標準狀態：現行
中標分類：冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H21金屬物理性能試驗方法
ICS分類：冶金>>金屬材料試驗>>77.040.99金屬材料的其他試驗方法
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2014-12-31
實施日期：2015-09-01
出版日期：2015-09-01
頁數：12頁

前言

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)和全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/TC203/SC2)共同提出并歸口。本標準起草單位:江蘇協鑫軟控設備科技發展有限公司、中國科學院上海光學精密機械研究所、北京合能陽光新能源技術有限公司。本標準主要起草人:薛抗美、魏明德、黃修康、杭寅、夏根平、肖宗杰。

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