GB/T 31470-2015 俄歇電子能譜與X射線光電子能譜測試中確定檢測信號對應樣品區域的通則
作者：百檢網 時間：2022-10-22
標準簡介
本標準規定了俄歇電子能譜和部分類型的 X射線光電子能譜檢測信號對應樣品區域的確定方法。 本標準適用于俄歇電子能譜儀和具有以下條件的 X射線光電子能譜:入射 X光束激發的樣品區域 大于分析器可檢測到的樣品區域;光電子從樣品到分析器入口的過程中經過自由空間;裝配有輔助電子 槍可以產生一束可變能量的電子束照射到樣品上。英文名稱：Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
標準狀態：現行
中標分類：儀器、儀表>>電工儀器儀表>>N26綜合測試系統
ICS分類：計量學和測量、物理現象>>電學、磁學、電和磁的測量>>17.220.20電和磁量值的測量
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2015-05-15
實施日期：2016-01-01
出版日期：2016-01-01
頁數：12頁
前言
本標準按照 GB/T1.1—2009給出的規則起草。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出并歸口。本標準起草單位:信息產業專用材料質量監督檢驗中心、中國電子技術標準化研究院、蘇州晶瑞化學有限公司、天津中環**材料技術有限公司。本標準主要起草人:李雨辰、何秀坤、劉筠、劉兵、李翔。相關標準
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