GB/T 38446-2020 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 帶狀薄膜抗拉性能的試驗(yàn)方法
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2022-10-22
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了帶狀薄膜抗拉性能的試驗(yàn)方法及數(shù)據(jù)處理。本標(biāo)準(zhǔn)適用于厚度在50 nm到數(shù)微米之間且長(zhǎng)度和厚度的比值大于300的樣品，也可用于MEMS產(chǎn)品帶狀薄膜結(jié)構(gòu)的質(zhì)量監(jiān)控。英文名稱：Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
中標(biāo)分類：電子元器件與信息技術(shù)>>微電路>>L55微電路綜合
ICS分類：電子學(xué)>>31.200集成電路、微電子學(xué)
發(fā)布部門：國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局.
發(fā)布日期：2020-03-06
實(shí)施日期：2020-10-01
出版日期：2020-02-01
頁(yè)數(shù)：16頁(yè)
前言
微電路綜合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
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