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GB/T 31854-2015 光伏電池用硅材料中金屬雜質含量的電感耦合等離子體質譜測量方法

作者：百檢網時間：2022-10-22

標準簡介

本標準規定了利用電感耦合等離子體質譜儀(ICP-MS)測定光伏電池用硅材料中痕量體金屬雜質含量的方法。本標準適用于光伏電池用硅材料中痕量體金屬雜質鐵、鉻、鎳、銅、鋅含量的測定。各元素的測量范圍見表1。
英文名稱：Test method for measuring metallic impurities content in silicon materials used for photovoltaic applications by inductively coupled plasma mass spectrometry
標準狀態：現行
中標分類：冶金>>半金屬與半導體材料>>H82元素半導體材料
ICS分類：電氣工程>>29.045半導體材料
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2015-07-03
實施日期：2016-03-01
出版日期：2016-03-01
頁數：12頁

前言

本標準按照 GB/T1.1—2009給出的規則起草。請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)及材料分技術委員會(SAC/TC203/SC2)共同提出并歸口。本標準起草單位:信息產業專用材料質量監督檢驗中心、中國電子技術標準化研究院、江蘇中能硅業科技發展有限公司、洛陽中硅高科技有限公司、國家電子功能與輔助材料質量監督檢驗中心、天津市環歐半導體材料技術有限公司。本標準主要起草人:褚連青、王奕、徐靜、王鑫、何秀坤、裴會川、馮亞彬、魯文峰、余慧茹、張雪囡。

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表面金屬雜質K、Na、Ca、Mg、Al、Cr、Fe、Ni、Cu、Zn GB/T 29849-2013 光伏電池用硅材料表面金屬雜質含量的電感耦合等離子體質譜測量方法

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光伏電池用硅材料表面金屬雜質含量 GB/T 29849-2013 光伏電池用硅材料表面金屬雜質含量的電感耦合等離子體質譜測量方法

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體金屬：鉻、鐵、鎳、銅、鋅含量 GB/T 31854-2015 光伏電池用硅材料中金屬雜質含量的電感耦合等離子體質譜測量方法

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表面金屬雜質 GB/T 29849-2013 光伏電池用硅材料表面金屬雜質含量的電感耦合等離子體質譜測量方法

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