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GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的測試惰性氣體熔融紅外法

作者：百檢網時間：2022-10-22

標準簡介

本標準規定了采用惰性氣體熔融及紅外技術測試硅材料中氧含量的方法。本標準適用于不同導電類型、不同電阻率范圍的硅單晶、多晶硅中氧含量的測試，測試范圍為2.5×1015 cm-3（0.05 ppma）～2.5×1018 cm-3（50 ppma）。注：硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子數計。
英文名稱：Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method
標準狀態：現行
中標分類：冶金>>金屬化學分析方法>>H17半金屬及半導體材料分析方法
ICS分類：冶金>>77.040金屬材料試驗
發布部門：國家市場監督管理總局.
發布日期：2020-07-21
實施日期：2021-06-01
出版日期：2020-07-01
頁數：8頁

前言

半金屬及半導體材料分析方法相關標準

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