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GB/T 32386-2015 電子工業(yè)用氣體 六氟化鎢

作者：百檢網(wǎng) 時間：2022-10-22

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了六氟化鎢的技術(shù)要求、試驗方法、包裝、標(biāo)志、貯運和安全。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于化學(xué)合成法制取并經(jīng)精制純化的六氟化鎢。該產(chǎn)品主要用于電子工業(yè)中金屬鎢化學(xué)氣相沉積工藝、鎢材料的制備等。 分子式:WF6。 分子量:297.8304192(按2009年國際相對原子質(zhì)量計算)。
英文名稱：Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
中標(biāo)分類：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
發(fā)布部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
發(fā)布日期：2015-12-31
實施日期：2016-07-01
出版日期：2016-07-01
頁數(shù)：20頁

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)提出并歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:中國船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所、廈門鎢業(yè)股份有限公司、西南化工研究設(shè)計院有限公司、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、上海儀盟電子科技有限公司。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:鄭秋艷、江海風(fēng)、王占衛(wèi)、方蘭蘭、林竹光、王志信、方華、楊任、周鵬云。

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