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GB/T 26068-2018 硅片和硅錠載流子復合壽命的測試 非接觸微波反射光電導衰減法

作者:百檢網(wǎng) 時間:2022-10-22

標準簡介

本標準規(guī)定了單晶和鑄造多晶的硅片及硅錠的載流子復合壽命的非接觸微波反射光電導衰減測試方法。 本標準適用于硅錠和經(jīng)過拋光處理的N型或P型硅片(當硅片厚度大于1mm時,通常稱為硅塊)載流子復合壽命的測試。在電導率檢測系統(tǒng)靈敏度足夠的條件下,本標準也可用于測試切割或經(jīng)過研磨、腐蝕的硅片的載流子復合壽命。通常,被測樣品的室溫電阻率下限在0.05Ω·cm~10Ω·cm之間,由檢測系統(tǒng)靈敏度的*限確定。載流子復合壽命的測試范圍為大于0.1.s,可測的*短壽命值取決于光源的關斷特性及衰減信號測定器的采樣頻率,*長可測值取決于樣品的幾何條件及其表面的鈍化程度。
英文名稱:Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method
標準狀態(tài):現(xiàn)行
替代情況:替代GB/T 26068-2010
中標分類:冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H21金屬物理性能試驗方法
ICS分類:冶金>>77.040金屬材料試驗
發(fā)布部門:國家市場監(jiān)督管理總局.
發(fā)布日期:2018-12-28
實施日期:2019-11-01
出版日期:2019-01-01
頁數(shù):32頁【彩圖】

前言

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