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GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技術 體硅壓阻加工工藝規范

作者：百檢網 時間：2022-10-22

標準簡介

本標準規定了采用體硅壓阻工藝進行MEMS器件加工時應遵循的工藝要求和質量檢驗要求。?? 本標準適用于硅基MEMS制造技術中基于背腔腐蝕和硅?膊ＡЪ?合的體硅壓阻加工工藝的加工和質量檢驗。
英文名稱：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process
標準狀態：現行
中標分類：電子元器件與信息技術>>微電路>>L55微電路綜合
ICS分類：電子學>>31.200集成電路、微電子學
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2016-08-29
實施日期：2017-03-01
出版日期：2017-03-01
頁數：28頁

前言

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