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GB/T 40577-2021 集成電路制造設(shè)備術(shù)語

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2022-10-22

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本文件規(guī)定了集成電路（IC)制造設(shè)備的基本和常用術(shù)語，包括基礎(chǔ)術(shù)語，晶體生長加工設(shè)備、掩模制造設(shè)備、光刻與刻蝕設(shè)備、摻雜設(shè)備、薄膜淀積設(shè)備、清洗設(shè)備、封裝設(shè)備、檢測設(shè)備的術(shù)語及公用部件術(shù)語。 本文件適用于集成電路制造設(shè)備的設(shè)計(jì)開發(fā)、生產(chǎn)和應(yīng)用，也適用于集成電路制造設(shè)備的科研、教學(xué)和出版工作。
英文名稱：Terminology for integrated circuit(IC) manufacturing equipment
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
中標(biāo)分類：電子元器件與信息技術(shù)>>電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備>>L95電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備綜合
ICS分類：電子學(xué)>>31.220電子電信設(shè)備用機(jī)電零部件
發(fā)布部門：國家市場監(jiān)督管理總局.
發(fā)布日期：2021-10-11
實(shí)施日期：2022-05-01
出版日期：2021-10-01
頁數(shù)：60頁

前言

電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備綜合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

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