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GB 4298-1984 半導體硅材料中雜質元素的活化分析方法

作者：百檢網時間：2022-10-23

標準簡介

本標準適用于單晶硅、多晶硅中金屬雜質素和非金屬雜質素含量的測定。本標準包括雜質素（十六個）的反應堆中子活化儀器分析方法、銅和砷的反應堆中子活化放射化分離分析方法、磷的反應堆中子活化放射化分離分析方法、氧的α粒子活化儀器分析方法和碳的氘子活化儀器分析方法。
英文名稱：The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials
標準狀態：現行
替代情況：廢止公告：國家標準公告2017年第31號
中標分類：冶金>>金屬化學分析方法>>H17半金屬及半導體材料分析方法
ICS分類：29.040.30
發布部門：國家標準局
發布日期：1984-03-28
實施日期：1985-03-01
作廢日期：2017-12-15
出版日期：1985-03-01
頁數：18頁

前言

半金屬及半導體材料分析方法相關標準

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