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GB/T 27760-2011 利用Si(111)晶面原子臺階對原子力顯微鏡亞納米高度測量進行校準的方法

作者:百檢網 時間:2022-10-23

標準簡介

本標準規定了利用Si(111)晶面原子臺階高度樣品校準原子力顯微鏡z向標度的測量方法。本標準適用于在大氣或真空環境下工作的原子力顯微鏡,并且其z 向放大倍率達到*大量級,即z向位移在納米和亞納米范圍內,這是原子力顯微鏡用于檢測半導體表面,光學器件表面和其他高科技元件表面中經常用到的檢測范圍。本標準并未指出所有可能的安全問題,在應用本標準之前,使用者有責任采取適當的安全和健康措施,并保證符合國家有關法規規定的條件。
英文名稱:Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic step
標準狀態:現行
中標分類:儀器、儀表>>儀器、儀表綜合>>N04基礎標準與通用方法
ICS分類:試驗>>19.020試驗條件和規程綜合
發布部門:國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期:2011-12-30
實施日期:2012-05-01
出版日期:2012-05-01
頁數:16頁

前言

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。本標準與ASTM E2530—2006《利用Si(111)晶面原子臺階對原子力顯微鏡亞納米高度測量進行校準的方法》(英文版)技術內容基本一致。考慮到我國國情,在采用ASTM E2530—2006時,本標準做了一些修改,有關技術性差異已編入正文中。附錄A(規范性附錄)中給出樣品制備方法,附錄B(資料性附錄)中列出了本標準章條編號與ASTM E2530—2006章條編號的對照一覽表,附錄C(資料性附錄)中給出了技術性差異及其原因一覽表以供參考。本標準由中國科學院提出。本標準由全國納米技術標準化技術委員會(SAC/TC279)歸口。本標準起草單位:國家納米科學中心。本標準主要起草人:朱曉陽、楊延蓮、賀蒙、高潔。

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