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GB/T 29557-2013 表面化學分析深度剖析濺射深度測量

作者：百檢網時間：2022-10-24

標準簡介

本標準規定了濺射深度剖析中測量濺射深度的準則。本標準適用于結合離子轟擊剝離部分固體樣品的表面化學分析技術,通常濺射深度可達幾微米。
英文名稱：Surface chemical analysis—Depth Profiling—Measurment of sputtered depth
標準狀態：現行
中標分類：化工>>化工綜合>>G04基礎標準與通用方法
ICS分類：化工技術>>分析化學>>71.040.40化學分析
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2013-07-19
實施日期：2014-03-01
出版日期：2014-03-01
頁數：16頁

前言

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。本標準使用翻譯法等同采用ISO/TR15969:2001《表面化學分析深度剖析濺射深度測量》。本標準由全國微束標準化技術委員會(SAC/TC38)提出并歸口。本標準負責起草單位:中山大學、浙江大學、中國科學院大連化學物理研究所。本標準主要起草人:陳建、張訓生、謝方艷、龔力、張衛紅、盛世善。

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