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GB/T 29658-2013 電子薄膜用高純鋁及鋁合金濺射靶材

作者:百檢網 時間:2022-10-24

標準簡介

本標準規定了電子薄膜制備用高純鋁及鋁合金靶材的要求、試驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸、存貯、訂貨單(或合同)等內容。本標準適用于電子薄膜用各類高純鋁及鋁合金濺射靶材(以下簡稱鋁靶)。
英文名稱:High-purity sputtering aluminium and aluminium alloy target used in electronic film
標準狀態:現行
中標分類:冶金>>有色金屬及其合金產品>>H61輕金屬及其合金
ICS分類:冶金>>有色金屬>>77.120.10鋁和鋁合金
發布部門:國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期:2013-09-06
實施日期:2014-05-01
出版日期:2014-05-01
頁數:12頁

前言

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。本標準由全國有色金屬標準化技術委員(SAC/TC243)歸口。本標準負責起草單位:有研億金新材料股份有限公司。本標準參加起草單位:寧波江豐電子材料有限公司、新疆眾和股份有限公司。本標準主要起草人:萬小勇、羅俊鋒、廖贊、尚再艷、楊華、朱曉光、孫秀霖、何金江、熊曉東、王興權、王學澤、錢紅兵、喻潔、劉杰、洪濤、努力古、宋玉萍。

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