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GB/T 29849-2013 用硅材料表面金屬雜質含量的電感耦合等離子體質譜測量方法

作者：百檢網時間：2022-10-24

標準簡介

本標準規定了利用電感耦合等離子體質譜儀(ICP-MS)測定光伏電池用硅材料表面痕量金屬雜質含量的方法。本標準適用于光伏電池用硅材料表面痕量金屬雜質鈉、鎂、鋁、鉀、鈣、鈦、鉻、鐵、鎳、銅、鋅、鉬含量的測定。
英文名稱：Test method for measuring surface metallic contamination of silicon materials used for photovoltaic applications by inductively coupled plasma mass spectrometry
標準狀態：現行
中標分類：冶金>>半金屬與半導體材料>>H82元素半導體材料
ICS分類：電氣工程>>29.045半導體材料
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2013-11-12
實施日期：2014-04-15
出版日期：2014-04-15
頁數：12頁

前言

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出并歸口。本標準起草單位:信息產業專用材料質量監督檢驗中心、中國電子技術標準化研究院、江蘇中能硅業科技發展有限公司、國家電子功能與輔助材料質量監督檢驗中心、天津市環歐半導體材料技術有限公司。本標準主要起草人:褚連青、王奕、徐靜、王鑫、何秀坤、裴會川、馮亞彬、魯文峰、張雪囡。

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