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GB/T 31058-2014 電子工業(yè)用氣體四氟化硅

作者：百檢網(wǎng) 時間：2022-10-24

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了四氟化硅的技術(shù)要求、試驗方法、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于螢石硫酸法、六氟硅酸鹽熱分解法、單質(zhì)硅直接氟化法制備的四氟化硅。它主要用作電子工業(yè)中等離子蝕刻、發(fā)光二*管 P形摻雜、離子注入工藝、外延沉積擴(kuò)散的硅源和光導(dǎo)纖維用高純石英玻璃的原料,也是生產(chǎn)多晶硅的重要原料。分子式:SiF4。相對分子質(zhì)量:104.0786128(按2009年國際原子相對質(zhì)量)。
英文名稱：Gases for electronic industry—Silicon tetrafluoride
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
中標(biāo)分類：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
發(fā)布部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
發(fā)布日期：2014-12-22
實施日期：2015-07-01
出版日期：2015-07-01
頁數(shù)：8頁

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照 GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)提出并歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:核工業(yè)理化工程研究院華核新技術(shù)開發(fā)公司、佛山市華特氣體有限公司、綠菱電子材料(天津)有限公司、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、貴州大學(xué)、西南化工研究設(shè)計院有限公司。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:鄧建平、李于教、傅鑄紅、湯有倫、崔學(xué)文、方華、唐安江、周鵬云。

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四氟化硅純度電子工業(yè)用氣體四氟化硅 GB/T 31058-2016

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總雜質(zhì)含量 GB/T 31058-2014 電子工業(yè)用氣體四氟化硅

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