GB/T 32996-2016 表面化學分析 輝光放電發射光譜法分析金屬氧化物膜
作者：百檢網 時間：2022-10-24
標準簡介
本標準規定了利用輝光放電發射光譜測定金屬氧化物膜厚度、單位面積質量和金屬氧化物膜化學組成的方法。 本方法適用于測定金屬上厚度為1 nm～10000 nm的氧化物膜，氧化物的金屬元素包括鐵、鉻、鎳、銅、鈦、硅、鉬、鋅、鎂、錳和鋁中的一種或多種。其他可測元素還包括氧、碳、氮、氫、磷和硫。英文名稱：Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry
標準狀態：現行
ICS分類：化工技術>>分析化學>>71.040.40化學分析
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2016-10-13
實施日期：2017-09-01
頁數：36頁
前言
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