GB/T 33922-2017 MEMS壓阻式壓力敏感芯片性能的圓片級試驗方法
作者：百檢網 時間：2022-10-24
標準簡介
本標準規定了MEMS壓阻式壓力敏感芯片（簡稱壓力敏感芯片）的術語和定義、試驗條件、試驗的一般規定、試驗內容和方法。 本標準適用于閉環和開環MEMS壓阻式壓力敏感芯片性能的圓片級試驗。英文名稱：Wafer level test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive die performances
標準狀態：現行
中標分類：電子元器件與信息技術>>微電路>>L55微電路綜合
ICS分類：電子學>>31.200集成電路、微電子學
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2017-07-12
實施日期：2018-02-01
出版日期：2017-07-27
頁數：16頁
前言
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