GB/T 34893-2017 微機電系統（MEMS）技術 基于光學干涉的MEMS微結構面內長度測量方法
作者：百檢網 時間：2022-10-24
標準簡介
本標準規定了基于光學干涉顯微鏡獲取MEMS微結構表面形貌進行面內長度測量的方法。 本標準適用于表面反射率不低于4%，寬深比不低于1:10，且使用光學干涉顯微鏡能夠獲取形貌的MENS微結構。標準狀態：現行
ICS分類：電子學>>31.200集成電路、微電子學
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2017-11-01
實施日期：2018-05-01
頁數：12頁
前言
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