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GB/T 34972-2017 電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

作者：百檢網(wǎng) 時間：2022-10-24

標準簡介

本標準規(guī)定了應(yīng)用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀測定電子工業(yè)用氣體中金屬元素含量的方法。本標準適用的電子工業(yè)用氣體種類：氧、氮、氬、氦、氫、氨、氯化氫、硅烷、高純氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亞氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等氣體。本標準適用的電子工業(yè)用氣體取樣狀態(tài)：氣態(tài)。
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
ICS分類：化工技術(shù)>>分析化學(xué)>>71.040.40化學(xué)分析
發(fā)布部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
發(fā)布日期：2017-11-01
實施日期：2018-05-01
頁數(shù)：12頁

前言

化學(xué)分析相關(guān)標準

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金屬元素含量 GB/T 34972-2017 電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

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金屬 GB/T 34972-2017 電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

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