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GB/T 36401-2018 表面化學分析 X射線光電子能譜 薄膜分析結果的報告

作者:百檢網 時間:2022-10-25

標準簡介

本標準給出了采用XPS對基材上薄膜的分析報告所需的*少信息量要求的說明。這些分析涉及化學組成和均勻薄膜厚度的測量,以及采用變角XPS、XPS濺射深度剖析、峰形分析和可變光子能量XPS的方式對非均勻薄膜作為深度函數的化學組成的測量。
英文名稱:Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectroscopy—Reporting of results of thin-film analysis
標準狀態:現行
中標分類:化工>>化工綜合>>G04基礎標準與通用方法
ICS分類:化工技術>>分析化學>>71.040.40化學分析
發布部門:國家市場監督管理總局.
發布日期:2018-06-07
實施日期:2019-05-01
出版日期:2018-06-01
頁數:44頁

前言

基礎標準與通用方法相關標準

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