GB/T 36653-2018 電子級(jí)三甲基鋁
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2022-10-25
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三甲基鋁的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)志、儲(chǔ)存和安全。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于烷基交換法、鈉還原法三種化學(xué)合成法制備并經(jīng)精制純化的三甲基鋁。該產(chǎn)品主要用于生長(zhǎng)化合物半導(dǎo)體薄膜材料等。英文名稱：Electronic grade trimethylaluminium
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
中標(biāo)分類：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
發(fā)布部門：國家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局.
發(fā)布日期：2018-09-17
實(shí)施日期：2019-01-01
出版日期：2018-09-01
頁數(shù)：12頁
前言
工業(yè)氣體與化學(xué)氣體相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
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