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GB/T 37959-2019 含工藝腔室類集成電路裝備設(shè)計(jì)信息模型

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2022-10-25

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了含工藝腔室類集成電路的IC裝備建模仿真設(shè)計(jì)軟件平臺(tái)信息模型，規(guī)定了搭建含工藝腔室類集成電路的IC裝備建模仿真設(shè)計(jì)軟件平臺(tái)的一般性要求。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于含工藝腔室類集成電路裝備的建模仿真設(shè)計(jì)軟件。
英文名稱：Information model for containing process chamber IC equipment design
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
中標(biāo)分類：機(jī)械>>機(jī)械綜合>>J07電子計(jì)算機(jī)應(yīng)用
ICS分類：信息技術(shù)、辦公機(jī)械設(shè)備>>信息技術(shù)應(yīng)用>>35.240.50信息技術(shù)在工業(yè)上的應(yīng)用
發(fā)布部門：國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局.
發(fā)布日期：2019-08-30
實(shí)施日期：2020-03-01
出版日期：2019-08-01
頁(yè)數(shù)：20頁(yè)

前言

電子計(jì)算機(jī)應(yīng)用相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

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