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SJ/T 11504-2015 碳化硅單晶拋光片表面質(zhì)量的測試方法

作者：百檢網(wǎng) 時間：2022-10-28

標準簡介

本標準規(guī)定了碳化硅單晶拋光片表面質(zhì)量的目視檢驗方法，觀察樣品表面的六方孔洞、劃痕、凹坑、顆粒、沾污、亮點缺陷、裂紋、崩邊的數(shù)量并用鋼板尺測量劃痕的總長度等。
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布部門：工業(yè)和信息化部
發(fā)布日期：2015-04-30
實施日期：2015-10-01
頁數(shù)：4頁

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