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YS/T 985-2014 硅拋光回收片

作者：百檢網時間：2022-10-29

標準簡介

本標準規定了硅拋光回收片的要求、檢驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、儲存、質量證明書和訂貨單（或合同）內容。本標準適用于用戶提供的或來源于第三方的硅回收片（主要包括100mm、125mm、150mm和200mm單面或雙面拋光硅片、未拋光硅片或外延硅片）經單面拋光制備的硅拋光片。產品主要用于機械、爐處理、顆粒和光刻中的監控片。
英文名稱：Polished reclaimed silicon wafers
標準狀態：現行
中標分類：冶金>>半金屬與半導體材料>>H80半金屬與半導體材料綜合
ICS分類：電氣工程>>29.045半導體材料
發布部門：工業和信息化部
發布日期：2014-10-14
實施日期：2015-04-01
出版日期：2015-04-01
頁數：16頁

前言

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。本標準修改采用SEMIM38-0307《硅拋光回收片規范》,本標準與SEMIM38-0307相比存在技術性差異,這些差異涉及的條款已通過在其外側頁邊空白位置的垂直單線(|)進行了標識。內容與SEMIM38-0307的主要差別在于:———僅采用了SEMIM38-0307中關于100mm、125mm、150mm 和200mm 硅拋光回收片的內容,刪除了原標準中關于50.8mm、76.2mm 和300mm 直徑的硅拋光回收片內容(包括附錄1和附錄2)。———將SEMIM38-0307中表1和表2中關于100mm、125mm、150mm 和200mm 硅拋光回收片的規范合并,形成本標準中的表1?！鶕覈鴺藴示帉懙牧晳T進行排版,并將技術要求表格提前。本標準由全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC243)歸口。本標準負責起草單位:浙江金瑞泓科技股份有限公司。本標準參加起草單位:有研半導體材料股份有限公司、杭州海納半導體有限公司、萬向硅峰電子股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司。本標準主要起草人:何良恩、劉丹、許峰、張海英、孫燕、曹孜、王飛堯、樓春蘭、徐新華。

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