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YS/T 15-2015 硅外延層和擴散層厚度測定磨角染色法

作者：百檢網(wǎng) 時間：2022-10-30

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了測定硅外延層和擴散層厚度的磨角染色法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于外延層和擴散層與襯底導(dǎo)電類型不同或兩層電阻率相差至少一個數(shù)量級的任意電阻率的硅外延層和擴散層厚度的測量，測量范圍：1μm～100μm。
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
替代情況：替代YS/T 15-1991;
中標(biāo)分類：冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H21金屬物理性能試驗方法
ICS分類：冶金>>77.040金屬材料試驗
發(fā)布部門：工業(yè)和信息化部
發(fā)布日期：2015-04-30
實施日期：2015-10-01
頁數(shù)：8　頁

前言

金屬物理性能試驗方法相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

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