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YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的測定氣相色譜法

作者：百檢網(wǎng) 時間：2022-10-30

標準簡介

本標準規(guī)定了硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷（包括二氯二氫硅、四氯化硅）含量的氣相色譜測定方法。本標準適用于硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷（包括二氯二氫硅、四氯化硅）含量的測定。測定范圍下限為0.002%。
英文名稱：Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
中標分類：冶金>>金屬化學分析方法>>H17半金屬及半導體材料分析方法
ICS分類：冶金>>金屬材料試驗>>77.040.30金屬材料化學分析
發(fā)布部門：工業(yè)和信息化部
發(fā)布日期：2015-04-30
實施日期：2015-10-01
出版日期：2015-10-01
頁數(shù)：12頁

前言

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會(SAC/TC243)提出并歸口。本標準起草單位:中鍺科技有限公司、江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司。本標準主要起草人:劉新軍、劉英杰、鄭華榮、柯尊斌、趙建為、孔令群、伍永勝、張云暉、楊紅燕。

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