YS/T 1031-2015 化學(xué)氣相沉積爐
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2022-10-30
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了化學(xué)氣相沉積爐的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書(shū)和合同（或訂貨單）內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于化學(xué)氣相沉積。英文名稱：Chemical vapor deposition furnace
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
中標(biāo)分類：冶金>>冶金機(jī)械設(shè)備>>H91煉焦、煉結(jié)設(shè)備
ICS分類：冶金>>77.180冶金設(shè)備
發(fā)布部門：工業(yè)和信息化部
發(fā)布日期：2015-04-30
實(shí)施日期：2015-10-01
出版日期：2015-10-01
頁(yè)數(shù)：12頁(yè)
前言
本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC243)提出并歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:湖南頂立科技有限公司、中國(guó)有色金屬工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量質(zhì)量研究所。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:戴煜、胡祥龍、胡高健、羊建高、馬衛(wèi)東、戴曉蕾、周岳兵、吳艷華。相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
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