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JB/T 5631-1991 半導體器件外延爐 能耗標準

作者:百檢網 時間:2022-11-01

標準簡介

本標準規定了半導體器件外延爐(以下簡稱外延爐)能耗分等。本標準適用于電子工業企業外延爐。
標準狀態:現行
替代情況:公告:中華人民共和國工業和信息化部公告 2017年(第23號)
中標分類:機械>>機械綜合>>J01技術管理
發布部門:機械電子工業部
發布日期:1991-08-27
實施日期:1992-07-01
作廢日期:2017-05-12
出版日期:1992-07-01
頁數:4頁

前言

技術管理相關標準

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