JB/T 5631-1991 半導體器件外延爐 能耗標準
作者：百檢網 時間：2022-11-01
標準簡介
本標準規定了半導體器件外延爐（以下簡稱外延爐）能耗分等。本標準適用于電子工業企業外延爐。標準狀態：現行
替代情況：公告：中華人民共和國工業和信息化部公告 2017年(第23號)
中標分類：機械>>機械綜合>>J01技術管理
發布部門：機械電子工業部
發布日期：1991-08-27
實施日期：1992-07-01
作廢日期：2017-05-12
出版日期：1992-07-01
頁數：4頁
前言
技術管理相關標準相關標準
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