JJF 1351-2012 掃描探針顯微鏡校準規范
作者：百檢網 時間：2022-11-03
標準簡介
本規范適用于以幾何表面形貌為測量對象的掃描探針顯微鏡的校準。掃描探針顯微鏡根據其設計原理不同,校準時需要根據實際情況選擇相關的計量特性。對有特殊要求的測量任務,如對溯源要求較高的測量,不在本校準規范的適用范圍。英文名稱：Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes
標準狀態：現行
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2012-06-18
實施日期：2012-09-18
出版日期：2012-09-18
頁數：20頁
前言
本規范為初次發布。制定本規范的目的主要是解決工業中掃描探針顯微鏡校準問題。規范編制中參考了國際上納米計量領域的一些理論性研究成果,并以實際納米計量工作中的一些實驗數據為基礎制定了本規范。相關標準
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