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電子器件(半導(dǎo)體芯片)制造業(yè)清潔生產(chǎn)評價(jià)指標(biāo)體系

作者:lfb 時(shí)間:2022-11-17 來源:互聯(lián)網(wǎng)

1 適用范圍

本評價(jià)指標(biāo)體系規(guī)定了電子器件制造業(yè)中硅基半導(dǎo)體芯片制造生產(chǎn)企業(yè)(生產(chǎn)線)清潔生產(chǎn)的一般要求。本指標(biāo)體系將清潔生產(chǎn)指標(biāo)分為六類,即生產(chǎn)工藝裝備及技術(shù)、資源能源消耗指標(biāo)、資源綜合利用指標(biāo)、污染物產(chǎn)生指標(biāo)、產(chǎn)品特征指標(biāo)、清潔生產(chǎn)管理指標(biāo)。

本指標(biāo)體系適用于電子器件制造業(yè)中硅基半導(dǎo)體芯片制造生產(chǎn)企業(yè)(生產(chǎn)線)的清潔生產(chǎn)審核、清潔生產(chǎn)潛力與機(jī)會的判斷以及清潔生產(chǎn)績效評定和清潔生產(chǎn)績效公告制度,也適用于環(huán)境影響評價(jià)、排污許可證、環(huán)保領(lǐng)跑者等環(huán)境管理制度。

2 規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

GB/T 14204-1993 水質(zhì)烷基汞的測定氣相色譜法

GB/T 24001 環(huán)境管理體系要求及使用指南

GB/T 26125 電子電氣產(chǎn)品六種限用物質(zhì)(鉛、汞、鎘、六價(jià)鉻、多溴聯(lián)苯和多溴二苯醚) 的測定

GB/T 26572 電子電氣產(chǎn)品中限用物質(zhì)的限量要求

GB 18599一般工業(yè)固體廢物貯存、處置場污染控制標(biāo)準(zhǔn)

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HJ 700-2014 水質(zhì)65種元素的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

HJ/T 91-2002 地表水和污水監(jiān)測技術(shù)規(guī)范

HJ/T 194-2005 環(huán)境空氣質(zhì)量手工監(jiān)測技術(shù)規(guī)范。

HJ/T 399-2007 水質(zhì)化學(xué)需氧量的測定快速消解分光光度法

《清潔生產(chǎn)評價(jià)指標(biāo)體系編制通則》(試行稿)(國家發(fā)展改革委、環(huán)境保護(hù)部、工業(yè)和信息化部2013年 第33號公告)

《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2013年修正)》(國家發(fā)展改革委2013年 第21號令)

3 術(shù)語和定義

《清潔生產(chǎn)評價(jià)指標(biāo)體系編制通則》(試行稿)所確立的以及下列術(shù)語和定義適用于本指標(biāo)體系。

3.1 清潔生產(chǎn)

指不斷采取改進(jìn)設(shè)計(jì)、使用清潔的能源和原料、采用的工藝技術(shù)與設(shè)備、改善管理、綜合利用等措施,從源頭削減污染,提高資源利用效率,減少或者避免生產(chǎn)、服務(wù)和產(chǎn)品使用過程中污染物的產(chǎn)生和排放,以減輕或者消除對人類健康和環(huán)境的危害。

3.2 管理指標(biāo)

指企業(yè)實(shí)施清潔生產(chǎn)應(yīng)滿足的相關(guān)管理規(guī)定要求的指標(biāo),包括:建立環(huán)境管理體系、開展節(jié)能活動(dòng)、開展清潔生產(chǎn)審核活動(dòng)、創(chuàng)建清潔生產(chǎn)企業(yè)活動(dòng)等。

3.3 指標(biāo)基準(zhǔn)值

為評價(jià)清潔生產(chǎn)水平所確定的指標(biāo)對照值。

3.4 一級指標(biāo)權(quán)重值

指衡量各一級評價(jià)指標(biāo)項(xiàng)在清潔生產(chǎn)評價(jià)指標(biāo)體系中的重要程度的值。

3.5 二級指標(biāo)分權(quán)重值

指依據(jù)二級指標(biāo)項(xiàng)在企業(yè)生產(chǎn)過程中對清潔生產(chǎn)水平影響大小程度而確定的值。

3.6 二級指標(biāo)基準(zhǔn)值分級

根據(jù)清潔生產(chǎn)需要,為評判電子器件制造企業(yè)清潔生產(chǎn)水平將二級指標(biāo)基準(zhǔn)值劃分為三個(gè)不同的級別,分別代表國內(nèi)清潔生產(chǎn)**水平、國內(nèi)清潔生產(chǎn)水平和國內(nèi)清潔生產(chǎn)一般水平。

3.7 限用物質(zhì)

法律法規(guī)或顧客要求在電子電氣產(chǎn)品中限制使用的有毒有害物質(zhì)。

3.8 臭氧層消耗物質(zhì)

指破壞臭氧層物質(zhì),主要包括氟氯化碳,三氯乙烷,三氯乙烯、三氯乙炔和四氯化碳等。

3.9 揮發(fā)性有機(jī)物

指溫度為293.15K、蒸汽壓大于或等于0.01KPa時(shí),可揮發(fā)性有機(jī)化合物的總稱,但不包括甲烷。

3.10 新鮮水量

新水量指生產(chǎn)中每產(chǎn)出單位面積成品所耗用的新鮮水量,即取自自來水、地表水、地下水水源被**次利用的水量,不包括主體工程重復(fù)使用的和循環(huán)利用的水量、余熱發(fā)電及輔助生產(chǎn)設(shè)施用水量。

3.11 廢水量

指生產(chǎn)設(shè)施或企業(yè)排放到企業(yè)法定邊界外的廢水量,包括與生產(chǎn)有直接或間接關(guān)系的各種外排廢水(含廠區(qū)生活污水、冷卻廢水、廠區(qū)鍋爐和電站廢水等)。

3.12 危險(xiǎn)廢棄物

指產(chǎn)品生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的具有下列情形之一的固體廢物(包括固體容器盛裝的液態(tài)廢物):

(一)具有腐蝕性、毒性、易燃性、反應(yīng)性或者感染性等一種或者幾種危險(xiǎn)特性的;

(二)不排除具有危險(xiǎn)特性,可能對環(huán)境或者人體健康造成有害影響,需要按照危險(xiǎn)廢物進(jìn)行管理的;

(三)列入國家危險(xiǎn)廢物名錄(2016年版)中的。不在名錄的按照國家危險(xiǎn)廢棄物鑒定流程確定。

3.13 單位產(chǎn)品電耗

指半導(dǎo)體生產(chǎn)芯片企業(yè)生產(chǎn)設(shè)備每生產(chǎn)單位面積產(chǎn)品所消耗的電能。

3.14 單位產(chǎn)品污染物產(chǎn)生量

指半導(dǎo)體芯片制造企業(yè)生產(chǎn)單位面積產(chǎn)品所產(chǎn)生污染物的量,這些污染物是在生產(chǎn)線排放出進(jìn)入末端處理設(shè)施之前的廢棄物(廢液、廢氣或固體廢物)中,需監(jiān)測末端處理前廢棄物中的某種污染物,本指標(biāo)體系主要包括廢水,總砷,烷基汞,化學(xué)需氧量,氮氨、臭氧層破壞物質(zhì)和危險(xiǎn)廢物等。

4 評價(jià)指標(biāo)體系

本指標(biāo)體系在工廠產(chǎn)能達(dá)到其設(shè)計(jì)產(chǎn)能80%(包含)以上時(shí)適用。

4.1 指標(biāo)選取說明

根據(jù)清潔生產(chǎn)的原則要求和指標(biāo)的可度量性,進(jìn)行本評價(jià)指標(biāo)體系的指標(biāo)選取。根據(jù)評價(jià)指標(biāo)的性質(zhì),分為定量指標(biāo)和定性指標(biāo)兩類。

定量指標(biāo)選取了具有代表性、能反映“節(jié)能”、“降耗”、“減污”和“增效”等有關(guān)清潔生產(chǎn)終目標(biāo)的指標(biāo),綜合考評企業(yè)實(shí)施清潔生產(chǎn)的狀況和企業(yè)清潔生產(chǎn)水平。定性指標(biāo)根據(jù)國家有關(guān)推行清潔生產(chǎn)的產(chǎn)業(yè)發(fā)展和技術(shù)進(jìn)步政策、資源環(huán)境保護(hù)政策規(guī)定以及行業(yè)發(fā)展規(guī)劃等選取,用于考核企業(yè)執(zhí)行相關(guān)法律法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)政策情況。

4.2 指標(biāo)基準(zhǔn)值及其說明

各指標(biāo)的評價(jià)基準(zhǔn)值是衡量該項(xiàng)指標(biāo)是否符合清潔生產(chǎn)基本要求的評價(jià)基準(zhǔn)。

在定量評價(jià)指標(biāo)中,各指標(biāo)的評價(jià)基準(zhǔn)值是衡量該項(xiàng)指標(biāo)是否符合清潔生產(chǎn)基本要求的評價(jià)基準(zhǔn)。在行業(yè)清潔生產(chǎn)評價(jià)指標(biāo)體系中,評價(jià)基準(zhǔn)值分為Ⅰ級基準(zhǔn)值、Ⅱ級基準(zhǔn)值和Ⅲ級基準(zhǔn)值三個(gè)等級。其中Ⅰ級基準(zhǔn)值代表國際**水平;Ⅱ級基準(zhǔn)值代表國內(nèi)水平;Ⅲ級基準(zhǔn)值代表國內(nèi)一般水平。

在定性評價(jià)指標(biāo)體系中,衡量該項(xiàng)指標(biāo)是否貫徹執(zhí)行國家有關(guān)政策、法規(guī)的情況,按“是”或“否” 兩種選擇來評定。

4.3 指標(biāo)體系

集成電路芯片和分立器件芯片制造企業(yè)清潔生產(chǎn)評價(jià)指標(biāo)體系技術(shù)要求內(nèi)容見表1。由于不同尺寸集成電路芯片和分立器件芯片加工復(fù)雜度還與加工層數(shù)相關(guān),因此本指南表1中各尺寸芯片指標(biāo)值是在以下加工層數(shù)下測算出的,其它加工層數(shù)各尺寸集成電路芯片和分立器件芯片清潔生產(chǎn)指標(biāo)值可參考本指南按加工層數(shù)比例合理自行測算。

?12英寸芯片及分立器件芯片:35層;

?8英寸芯片及分立器件芯片:30層;

?5~6英寸芯片及分立器件芯片:20層;

?4英寸及以下分立器件芯片:10層。

薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)制造企業(yè)清潔生產(chǎn)評價(jià)指標(biāo)體系技術(shù)要求內(nèi)容見表2。

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