作者:宋檢 時間:2022-11-30 來源:互聯(lián)網(wǎng)
近日,中國科學院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所陳沁課題組聯(lián)合東南大學的王琦龍教授緊密合作,在低成本高效硅基熱電子紅外光電探測器方面取得了系列進展。他們**提出了Au納米顆粒修飾Si金字塔結(jié)構(gòu)的方案,實驗證明他們制備的這些器件的性能與那些精心設計、成本高昂的Si基近紅外光電探測器性能相當,有望應用在大規(guī)模熱光伏電池和低成本紅外檢測中。相關研究成果發(fā)表在近期的Nanotechnology期刊上。
據(jù)悉,科研團隊所采用的工藝十分簡單:通過使用標準的各向異性化學濕蝕刻法來實現(xiàn)Si基金字塔的構(gòu)建;然后在其表面濺射一層Au薄膜;接著通過快速熱退火法形成修飾的金納米顆粒;隨后在金字塔那面通過磁控濺射沉積ITO薄膜,在另一面通過熱蒸發(fā)沉積鋁膜作為背電*;*后,樣品通過銦錫焊接到芯片載體上,就完成了探測器的制作。
他們發(fā)現(xiàn)金字塔表面增強了入射光子與Au納米顆粒之間的耦合效應,因為這種金字塔表面減少了背反射光并使得光子在Au納米顆粒內(nèi)部多次反射,增加了入射光走的距離,而且Au納米粒子的引入還使得器件的局部電磁場產(chǎn)生了增強,從而使光子可以被顯著吸收,提高了光電轉(zhuǎn)換量子效率。
科研團隊進一步采用了Au納米顆粒—介質(zhì)—金反射鏡的結(jié)構(gòu),利用無序金屬納米顆粒的寬帶高光學吸收和Au/TiO2/Si組成的全向肖特基結(jié),在光學與電學兩個方面同時入手提高光電轉(zhuǎn)換的內(nèi)外量子效率。這種密集的隨機熱點分布大大提升了光吸收與熱電子發(fā)射的效率,光電響應度是目前*高結(jié)果之一,硅光電響應截止波長擴展到近2um,展示了有效的近紅外硅基光電應用。
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