GB/T 26312-2010 蒸發(fā)金 檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
作者：如影隨風(fēng) 時(shí)間：2022-12-12
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1.范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了蒸發(fā)金的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。
本標(biāo)準(zhǔn)主要適用于制造半導(dǎo)體器件用芯片時(shí)背金用蒸發(fā)金。
2.規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其*新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
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3.要求
3.1 產(chǎn)品分類
3.1.1 蒸發(fā)金產(chǎn)品按化學(xué)成分分為Z-Au99.99和Z-Au99.99兩種牌號(hào)。
3.1.2 蒸發(fā)金產(chǎn)品主要以片狀、柱狀和線盤(pán)狀為主,產(chǎn)品形狀及供貨狀態(tài)應(yīng)滿足表1的要求。需方有其他要求時(shí)由供需雙方協(xié)商解決。
3.2 產(chǎn)品標(biāo)記示例
3.2.1 柱狀蒸發(fā)金標(biāo)記
示例:直徑為5mm、長(zhǎng)度為20mm、成分為99.999%的柱狀蒸發(fā)金產(chǎn)品 標(biāo)記為:Z-Au99.999,Φ5×20mm。
3.2.2 蒸發(fā)金片狀產(chǎn)品標(biāo)記
示例:長(zhǎng)為10mm、寬為10mm、厚為2mm的片狀蒸發(fā)金產(chǎn)品 標(biāo)記為:Z-Au99.999,10×10×2mm。
3.2.3 蒸發(fā)金線盤(pán)狀產(chǎn)品標(biāo)記
示例:線徑為0.5mm、每盤(pán)200g重量的線盤(pán)狀蒸發(fā)金產(chǎn)品 標(biāo)記為:Z-Au99.999,Φ0.5mm,200g/線盤(pán)。
3.3 化學(xué)成分
產(chǎn)品化學(xué)成分應(yīng)符合表2的要求,其中金質(zhì)量分?jǐn)?shù)為****減去表中規(guī)定的雜質(zhì)實(shí)測(cè)值的總和而得。需方對(duì)某種特定雜質(zhì)元素含量有要求的,按供需雙方協(xié)商進(jìn)行。
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